Elektroda grafit untuk pembuatan sirkuit terpadu
Jincheng Graphite, sebagai produsen produk grafit profesional, menyediakan elektroda grafit dengan konduktivitas tinggi dan stabilitas termal tinggi untuk pembuatan sirkuit terpadu. Elektroda ini dirancang khusus untuk proses penting seperti litografi, etsa, dan deposisi, dengan kemampuan pemrosesan presisi tinggi, masa pakai lama, dan tekanan termal rendah. Mereka banyak digunakan dalam-industri manufaktur semikonduktor kelas atas.
Keunggulan Inti
Konduktivitas tinggi dan stabilitas termal
Memanfaatkan-substrat grafit dengan kemurnian tinggi dan menggabungkan teknologi perawatan permukaan berskala nano, konduktivitasnya mencapai lebih besar dari atau sama dengan 10^5 S/m, dan koefisien ekspansi termal kurang dari atau sama dengan 3,5×10⁻⁶/ derajat . Hal ini memastikan stabilitas struktural selama-proses suhu tinggi dan mencegah deformasi termal wafer.
Kompatibilitas pemrosesan presisi
Melalui pemotongan laser, etsa plasma, dll., ini mendukung ketebalan elektroda mulai dari 0,05 hingga 3 mm dan geometri kompleks khusus, cocok untuk peralatan pemrosesan wafer untuk proses lanjutan 5nm ke bawah, memenuhi persyaratan penyelarasan-presisi tinggi.
Ketahanan korosi dan ketahanan aus
Permukaan mengalami perawatan pasivasi kimia. Ia melewati uji korosi asam kuat dengan HF, HNO₃, dll., dan dapat menahan suhu hingga 1500 derajat atau lebih, sehingga secara signifikan memperpanjang umur elektroda dan mengurangi risiko gangguan proses.
Skenario Aplikasi
Elektroda grafit yang digunakan dalam manufaktur sirkuit terpadu banyak digunakan dalam proses-proses utama seperti etsa plasma (untuk pemrosesan parit sub-mikron dalam), deposisi uap kimia (CVD), dan deposisi uap fisik (PVD). Sifat tekanan termalnya yang rendah dapat secara efektif mencegah cacat yang disebabkan oleh ekspansi termal wafer yang tidak merata, meningkatkan hasil chip kelas atas hingga lebih dari 99,8%, dan membantu mencapai miniaturisasi dan integrasi kepadatan tinggi pada proses pembuatan chip.
Spesifikasi Teknis
| Konduktivitas listrik | Lebih besar dari atau sama dengan 10^5 S/m (pada suhu kamar) |
| Koefisien ekspansi termal | Kurang dari atau sama dengan 3,5 × 10⁻⁶ / derajat |
| Kekasaran permukaan | Ra Kurang dari atau sama dengan 0,2 μm |
| Ketahanan korosi | Lulus pengujian dalam lingkungan asam kuat, basa kuat, dan plasma |
| Kekuatan mekanik | Kuat tekan Lebih besar atau sama dengan 120 MPa |
Jaminan Kualitas Grafit Jincheng
Jincheng Graphite telah terlibat secara mendalam di bidang produk grafit selama 18 tahun. Perusahaan ini memiliki hak kekayaan intelektual independen atas-teknologi sintering suhu rendah dan sertifikasi sistem manajemen mutu ISO9001. Ini secara ketat mengontrol seluruh proses mulai dari pemurnian bahan mentah (kemurnian Lebih besar dari atau sama dengan 99,99%), pencetakan dan pengepresan hingga sintering suhu tinggi untuk memastikan bahwa produk memenuhi persyaratan ketat industri semikonduktor untuk kebersihan (kelas ISO 4), stabilitas termal (±0,5 derajat), dan kerataan permukaan (Kurang dari atau sama dengan 0,1 μm).
Komitmen Kerja Sama
Jincheng Graphite menawarkan pengujian sampel gratis, respons teknis 72-jam, dan dukungan untuk-produksi uji coba skala kecil. Itu dapat menyesuaikan dimensi elektroda, parameter kinerja konduktif, dan rencana perawatan permukaan sesuai dengan kebutuhan proses pelanggan. Perusahaan ini berkomitmen untuk menyediakan solusi elektroda grafit berkinerja tinggi dan andal untuk perusahaan semikonduktor global. Dengan teknologi profesional, pengiriman cepat, dan inovasi berkelanjutan, perusahaan ini telah menjadi mitra inti di bidang manajemen termal dan pemrosesan presisi dalam manufaktur sirkuit terpadu.
Tag populer: elektroda grafit untuk fabrikasi ic, elektroda grafit Cina untuk produsen fabrikasi ic, pemasok, pabrik, bushing grafit untuk peralatan semikonduktor, elektroda grafit untuk fabrikasi IC, grafit kelas semikonduktor, pendingin panas grafit semikonduktor, pelat suhu seragam grafit semikonduktor, pembuatan wafer grafit
